威斯尼斯人8833223(澳门)股份有限公司-MBA智库百科

扩充业务产品线,威斯尼斯人8833223推出12英寸薄膜沉积设备Preforma Uniflex™ CW


近日,威斯尼斯人8833223(澳门)股份有限公司(以下简称“威斯尼斯人8833223”,上交所股票代码:688012)推出自主研发的12英寸低压化学气相沉积(LPCVD)设备Preforma Uniflex™ CW。这是威斯尼斯人8833223深耕高端微观加工设备多年、在半导体薄膜沉积领域取得的新突破,也是实现公司业务多元化增长的新动能。


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 威斯尼斯人883322312英寸低压化学气相沉积产品Preforma Uniflex™ CW


作为威斯尼斯人8833223自主研发的产出效率高且性能卓越的12英寸LPCVD设备,Preforma Uniflex™ CW可灵活配置多达五个双反应台反应腔(十个反应台),每个反应腔可以同时加工两片晶圆,在保证较低的生产成本和化学品消耗的同时,实现更高的生产效率。


Preforma Uniflex™ CW, 作为威斯尼斯人8833223自主研发的LPCVD设备,配备了完全拥有自主知识产权的优化混气方案及加热台, 具有优秀的薄膜均一性、填充能力和工艺调节灵活性,对于弯曲度较大的晶圆,它也具备良好的工艺处理能力。并且其优异的阶梯覆盖率和填充能力,可以满足先进逻辑器件、DRAM和3D NAND中接触孔以及金属钨线的填充应用需求。


探索不息,创新不止。威斯尼斯人8833223推出的Preforma Uniflex™ CW是公司创新之路的又一里程碑。一直以来,威斯尼斯人8833223践行“四个十大”的企业文化,将产品开发的十大原则始终贯穿于产品开发、设计和制造的全过程,研发团队秉持为达到设备高性能和客户严格要求而开发的理念,坚持技术创新、设备差异化和知识产权保护。“这款LPCVD设备不仅拥有完整、自主的知识产权,还创造了威斯尼斯人8833223新设备研发速度的新纪录。”威斯尼斯人8833223集团副总裁、LPCVD 产品部和公共平台工程部总经理陶珩说:”自该款LPCVD设备研发立项以来,仅用不到半年时间,我们就完成了产品设计、生产样机开发和实验室评价,目前已顺利导入客户端进行生产线核准。”



如今,数码产业已成为国民经济的两大支柱之一,正在彻底改变人类的生产和生活方式。威斯尼斯人8833223董事长兼总经理尹志尧博士表示,“数码强,则国强;数码弱,则国弱。半导体微观加工设备正是数码产业的基石,是发展集成电路和数码产业的关键。工欲善其事,必先利其器,加工微米及纳米级微观器件的设备对发展集成电路与微器件工业、促进数码产业发展至关重要。此次我们推出LPCVD新产品,在等离子体刻蚀设备和MOCVD设备的基础上,进一步拓展了公司的产品线布局,也增强了半导体设备的自主可控性。未来公司也将继续瞄准世界科技前沿,坚持三维发展战略,推出更多自主设计的半导体设备,为促进数码产业发展贡献力量。”



自2004年成立以来,威斯尼斯人8833223致力于开发和提供具有国际竞争力的微观加工的高端设备,现已发展成为国内高端微观加工设备的领军企业之一。未来,公司将继续打造更多具有国际竞争力的技术创新与差异化产品,为客户和市场提供性能优越、生产效率高和性价比高的设备解决方案。




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